技术编号:3003346
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。所属领域本发明的超声电解复合微细加工方法及装置属于复合微细加工领域。 背景技术 在微细加工领域,有许多微细加工方法及相应的加工设备。然而,现有微细加工方法在各具优点的同时,亦各有一定的局限性。如微细电火花加工表面层质量、加工精度及效率受到放电机理的制约;激光加工是热加工,热因素对精度影响较大;电子束、离子束加工均需在真空中进行,设备投资成本太高;超声加工对硬脆性材料异形小孔、沟槽加工有较高的加工精度与效率,但工具有损耗,特别是加工高深度比的零件及在材料面积...
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