技术编号:3007714
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用干涉激光光束的处理方法,例如烧蚀处理, 对材料表面的改性、或抗蚀剂瀑光,以及一种处理装置,更具体地^兌,涉及一种由于使用具有等于或大于lfs并且等于或小于lps的脉宽的脉冲激光的干涉暴露而导致的处理方法以及一种处理装置。 背景技术随着对于将成为下一代技术的MEMS和纳米技术的期望的增 加,注意力已经关注于使用干涉激光光束的处理方法作为用于制造将 要合并到MEMS中并涉及纳米技术的微结构的方法。与电子和离子 光束印制不同,通过干涉激光光束的...
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