激光加工装置的制作方法技术资料下载

技术编号:3008137

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本发明有关将加工对象物沿着切断预定线切断,而使用的激光加 工装置。背景技术作为以往的激光加工装置,已知有例如专利文件1所记载的激光 加工装置。此激光加工装置中,利用聚光用透镜,使第1激光(加工用激光)与第2激光(测距用激光)聚光,同时利用聚光点位置控制 单元,检测出在加工对象物的激光反射面被反射的第2激光的反射光, 来控制第1激光的聚光点的位置。由此,可以使第1激光的聚光点位 于从激光照射面起算的规定距离,而在加工对象物内部的所希望位置 形成改质区域。专利...
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