技术编号:3009027
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种辅助调焦控制装置及使用方法,具体为一种激光标刻 机辅助对焦装置及使用方法。(二) 背景技术激光标刻机是一种用激光束进行标刻加工的设备,主要包括激光发生 器、扫描系统、聚焦镜及其它相关控制单元。激光束经由扫描系统后入射聚 焦镜,平行入射的光束被聚焦在聚焦镜的焦平面上,聚焦后的扫描光束在工 件表面刻蚀出期望的图案。当工件表面位于聚焦场镜焦平面上时,光斑直径 最小、激光能量密度最高、刻蚀效果最精细、效率最高。因而,使用激光标 刻机时,总需要调节聚焦...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。