技术编号:3009584
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向加工对象物体照射激光束进行加工的激光加工方法及激光加工装置。背景技术 图9是表示形成槽的现有的激光加工装置的概略图。从激光光源51以例如频率1kHz射出脉冲激光束。用均化器52将激光束的光束截面的脉冲能量密度均匀(头部平均トツプフラツト)后,再用例如具有圆形贯通孔的遮光框53将光束截面形状整形为圆形。经反射镜54反射后,经过聚光透镜55入射到基板56。基板56是例如在玻璃基体材料上形成有ITO膜的基板。激光束入射到基板56的ITO膜。ITO膜表...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。