技术编号:3009884
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到光阑,特别是一种应用于扫描电子显微镜中的微孔和小孔 光阑的紫外激光微加工系统和方法。 背景技术目前,各种微孔在飞机、汽车、电子电器、化工、食品、生物医疗等行 业中的应用越来越广泛。但是对于一些硬脆材料、合金材料、硬质金属材料 以及一些其他高新材料进行百微米甚至十微米量级的微孔加工难度是非常大 的。而用来作为扫描电子显微镜的通电子束的光阑,需要在难熔金属钼的薄片上加工出从20pm到30(Him范围内多个孔径大小的微孔和小孔。普遍采用 机械加工方式...
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