击穿电压可调节的SCR型ESD保护结构的制作方法技术资料下载

技术编号:30102280

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击穿电压可调节的scr型esd保护结构技术领域.本发明涉及半导体技术领域,尤其是一种击穿电压可调节的scr型esd保护结构。背景技术.现有技术中,使用最多的esd保护结构是pn结二极管、ggnmos、gdpmos、scr、npn等结构。其中ggnmos与gdpmos及其衍生的grnmos、gcnmos等是一种应用最广泛的esd保护结构,但是由于其器件面积大,鲁棒性较弱,特别是在高压应用时由于耐压不足需叠加使用,导致其面积过大使设计者很难接受;npn管做esd保护结构在芯片中也较为常见,但是由...
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