技术编号:30108921
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种用于平面工件的湿式处理的设备的单元的装置,其包括:.包括第一壁及第二壁的结构,.其中所述工件可在中心平面中在第一方向上移动通过所述第一壁与所述第二壁之间的空间,.其中用于将加压液体引入所述第一壁与所述第二壁之间的孔隙提供于所述中心平面的相对侧上且面向所述中心平面,.其中所述孔隙在所述第一方向及横向于所述第一方向的第二方向上分布,.其中用于使所述液体离开所述空间的排放开口沿着所述空间在所述第一方向上的范围界定于在所述第二方向上所见的所述空间的相对侧上,及.其中所述第一...
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