高敏感度正性光刻胶组合物及其合成方法和固化膜与流程技术资料下载

技术编号:30218789

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.本发明涉及一种高敏感度正性光刻胶组合物及其合成方法和固化膜,属于液晶显示技术领域。背景技术.具有较高精确度和分辨率特征的lcd或oled可以通过增加显示装置的孔径比的方法制备。.根据此方法,在薄膜晶体管tft衬底上安置透明平坦化膜作为保护膜,这种方法允许数据线和像素电极重叠,因此相较于常规方法提高孔径比,为了制备此类透明平坦化膜,采用几个处理步骤来赋予特定图案。正性光刻胶组合物因为需要较少处理步骤而广泛用于此方法中。.具体来说,含有硅氧烷聚合物的正性光刻胶组合物因其高耐热性、高透明度以...
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