技术编号:3022200
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微型切削加工,具体涉及一种介观尺度对象加工用微型车削机床。背景技术MEMS问世之初,制造加工几乎全部采用硅微工艺和光刻电铸工艺(LIGA),可以批量生产尺度在微米甚至纳米级的微结构和器件,其缺点是体加工能力尤其是高深度比微细结构加工能力有限,需要非常的超净条件和受线宽尺寸的限制,同时LIGA加工需要强射线源,且工艺复杂加工时间长,成本极高。随着现代制造技术的发展,以传统机械制造技术为背景的微制造技术逐渐进入MEMS制造领域,主要解决微小型系统承载...
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