技术编号:3022858
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电子技术及精密仪器制造领域,主要用途是用于场发射电子显微镜电子枪中场发射钨针的焊接,具体涉及一种钨丝焊接器。背景技术扫描电子显微镜的电子源有三种形式热发射电子源;冷场发射电子源;热场发射电子源。普通热发射电子显微采用热发射电子源,将钨灯丝制成发叉形状并加热到2500K以上发射电子,这种电子源优点是制作容易,所要求的真空度不高,气压小于10_3帕即,缺点是电子源的束斑大,约为几十微米,显微镜的分辨率低。冷场发射电子显微镜采用室温下钨针尖的场发射产...
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