技术编号:3024678
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于玻璃的深加工,特别是涉及一种罗茨泵快速拆卸装置。背景技术现在磁控溅射技术被广泛应用,在工业化生产和科学研究领域发挥巨大作用。磁控溅射技术作为一种十分有效的薄膜沉积方法,被有效的使用到真空镀膜玻璃领域。真空泵是真空镀膜玻璃生产线的重要组成部分,其工作状况直接影响镀膜玻璃的生产效率和玻璃本身的质量。罗茨泵是一种常用的镀膜线真空泵,其工作转速为3000-6000转每分钟。由于其工作转速极快,所以常常出现多种故障。使得检修成为常态化的工作。目前常规检...
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