技术编号：30252318
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于纳米定位技术领域，涉及大行程、高分辨率精密位移驱动器，特别涉及一种柔顺平行四连杆放大机构式压电粘滑直线平台。背景技术.压电粘滑直线平台是一种既能实现毫米及厘米级大行程、又能实现纳米级高分辨率的精密位移驱动装置。它基于压电材料的逆压电效应，压电执行器在非对称锯齿波电压作用下的不对称振动所造成的动平台与驱动单元间动静摩擦力之差，将压电执行器的微小位移不断累加，从而形成连续的大行程位移。相对于电磁式直线平台，压电粘滑直线平台具有无磁场、易于控制、不存在端部效应及推力波动等优点；相对于尺...
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