技术编号：30271934
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种正负刚度并联的主动防微振基座。背景技术.目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。.一般情况下系统的固有频率受其结构特点的制约，要想降低固有频率一般需要增大系统结构的体积。然而在实际应用中，防微振基座工作环境空间和分布方式是非常有限的，因此增加系统结构的体积通常会给设计和安装带来麻烦。被动系统的固有频...
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