一种喷墨打印真空干燥装置及喷墨打印干燥方法与流程技术资料下载

技术编号:30307181

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.本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种用于对oled基板进行干燥的喷墨打印真空干燥装置及喷墨打印干燥方法。背景技术.oled器件中发光层的沉积方法主要有真空蒸镀和溶液制程两种。真空蒸镀适用于有机小分子,其成膜均匀好、技术相对成熟、但是设备投资大、材料利用率低、大尺寸产品掩模板(mask)对位精度低;溶液制程包括旋涂、喷墨打印、喷嘴涂覆法等,适用于聚合物材料和可溶性小分子,其特点是设备成本低,在大规模、大尺寸生产上优势突出,特别是喷墨打印技术,能有将溶液精准的喷墨到像素区中,形成有机薄膜。....
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