技术编号:3030759
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种非晶硅太阳能板激光刻膜机,特别是涉及一种多 通道非晶硅太阳能板激光刻膜机。背景技术非晶硅太阳能电池生产流程涉及到底层电极、中间光伏效应层和 表面欧姆接触电极层的薄膜沉积以及各层的刻划。激光刻划技术相比 传统的掩模法具有更高的生产效率以及稳定的产品质量,已经较好地 应用于太阳能电池的制造工艺流程中。目前的太阳能电池激光刻划工艺,采用的是单激光头单光路进行加工,刻划速度已经从开始的0.5米每秒提高到目前的2.5米每秒, 按照光斑直径0.05mm来...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。