技术编号:3034129
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,属于微细加工。 背景技术金属及合金材料的微细阵列型孔作为一种典型的微细结构在MEMS、航空航天、精密仪器、 化纤等领域有着广泛的应用,如高速打印机喷嘴板、光纤连接器、化纤喷丝板、微泵中的微 细结构等。微细电化学加工具有无电极损耗、不产生应力、不受工具和工件材料机械性能影 响、可以在导电材料上加工复杂形状、加工完成后的表面光洁度较高的特性,在精密和微细 阵列型孔的加工中有着潜在的应用前景。但是,由于电化学加工是基于金属阳极在电解液中 发生电化学溶...
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