一种基于硅光微环调制器的自动调制系统的制作方法技术资料下载

技术编号:30367595

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.本实用新型涉及光通信技术领域,具体为一种基于硅光微环调制器的自动调制系统。背景技术.硅光技术是在硅基平台上将光电子和微电子融合起来的一种新技术,是以硅和硅基衬底材料(如sige/si、soi等)作为光学介质,通过互补金属氧化物半导体(cmos)兼容的集成电路工艺制造相应的光电器件(包括硅基发光器件、调制器、探测器、光波导器件等),并利用这些器件对光子进行发射、传输、检测和处理,以实现其在光通信、光互连、光计算等领域中的应用,相比于传统的化合物半导体,硅在光通信或光互连中与传统的cmos工艺...
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