技术编号：30375333
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种投影式光刻机用uv-led光引擎设备技术领域.本实用新型涉及光刻机，尤其是一种投影式光刻机用uv-led光引擎设备。背景技术.uva段光刻机光引擎应用产品，目前接近式/接触式光刻机和i-line投影式光刻机光引擎，市场上%以上接近/接触式光刻机和i-ling/g-line投影光刻机采用汞灯光引擎，led应用近两年才刚开始，增量市场还有巨大的潜力。汞灯寿命短（-h），更换调机频率高，同属于重金属污染，光引擎综合分成本高，耗电量高，光子利用率低。uva-led光引擎可达到...
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