技术编号:3037656
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及一种准分子激光束辐照装置,用来通过一种具有待形成在工件上的图形掩模,对一工件(例如一多层印刷板)进行光学加工、作业或处理(例如刻蚀),从而形成眼孔(例如所谓的通路孔、通孔)之类的眼孔。更具体地说,本发明涉及一种准分子激光束辐照装置,采用该装置,可以用具有均匀强度分布的准分子激光束以一种稳定状态对工件进行处理。为了能够更好地理解本发明的基本原理,首先参照附图说明图14和图16较为详细地描述具有上述类型的现有光学处理或加工设备中所采用的已知准分子...
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