技术编号:3038594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于机械加工领域,特指一种具有提高径向刚度能力的液压式微量进 给装置,用于超精密加工机床中,可提高机床刀具的微量进给的分辨率,实现超 精密机床的超薄切削、高精度尺寸加工和在线误差补偿。 背景技术微量位移驱动器是一种能产生微米、亚微米级运动的装置,它在精密加工、 精密测量中得到广泛的应用。微量位移驱动器按其工作原理分类,有静电、电磁、 压电、形状记忆合金、热和光驱动、超导驱动等类型。但在现有微量位移驱动器 中,有的输出与输入是非线性关系,有的微量位移驱...
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