用于切割、分裂或分离衬底材料的装置、系统和方法技术资料下载

技术编号:3039575

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本发明总体涉及一种切割和分离技术。更特别是,本发明涉及一种用于使用激光器来切割、分裂和/或分离非金属或脆性材料的装置、系统和方法。背景技术 使用激光在脆性材料中扩散微裂纹的技术已经公知了三十年以上。1971年授予Lumley的美国专利NO.3610871是早先公知的披露。虽然具有多种作用,这种技术迄今为止没有在商业上广泛用于许多应用中。这种情况的主要原因在于加工速度缓慢、使用复杂激光模式、不能很好地理解激光划线机构以及费时、产生颗粒和微裂纹并由此抵消激光分...
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