技术编号：30396987
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及驱动装置领域技术，尤其是指一种磁悬浮平面马达的应用结构。背景技术.现代精密、超精密加工装备对高响应、高速度、高精度的平面驱动装置有着迫切的需求，如机械加工、电子产品生产、机械装卸、制造自动化仪表设备甚至机器人驱动等。.现有的平面驱动装置通常由旋转式电动机产生动力驱动，再由皮带、滚珠丝杆等机械装置，转换为直线运动。由于机械装置复杂，传动精度和速度都受到限制，故现有的平面驱动装置存在响应速度慢，定位精度低的缺点。因此，有必要对现有的平面驱动装置进行改进。实用新型内容.有鉴于此...
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