技术编号:3047627
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及例如通过在材料表面形成激光的聚光部而使聚光部附近的材料的结构发生变化从而进行加工的激光加工装置的。背景技术在此种装置中,使从激光光源射出的激光聚光到载置在台上的材料表面,使聚光部附近的微小体积产生基于热处理的化学或物理性的变化,从而进行加工。为了对所希望的位置实施所希望的加工,而将激光的聚光部与材料表面的位置关系确保成恒定很重要。 然而,材料表面未必平坦,为了使激光的聚光部与材料表面的位置关系在加工时发生适当变化,要求一种能追随该位置关系变化的聚...
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