技术编号：30479266
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及控制技术领域，具体涉及一种探针装置与探针控制设备。背景技术.在芯片产业中，芯片器件的微型化一直是重要的研究方向，制造出 纳米技术节点的芯片已经实现，制造纳米技术节点的芯片已经研发成功，然而芯片产业的测量技术则远远落后。不仅检测手段不足，而且达到纳米级表面测量的速度往往很慢，不能满足芯片产业在线检测，甚至抽检的水平。.现有的，光学椭偏仪的检测技术可以检测晶圆表面的三维结构在纵向分辨率达到纳米以下，而且速度快，可以用于在线检测，可是横向分辨率仍然停留在亚微米数量级，无法满...
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