技术编号:30495890
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及光电子器件技术领域,尤其涉及一种掩埋结构半导体激光器及其制备方法。背景技术.半导体激光器是光纤通信系统的重要光源器件。当普通脊波导半导体激光器器件与光纤直接耦合时,由于光纤和半导体波导的模场不匹配,耦合损耗可高达db,同时对准容差较小,这无疑增加了封装难度和成本。模斑转换器可以几乎绝热地将波导的不对称近场分布转换为对称的输入或输出近场,这样既可以提高有源器件和光纤的耦合效率,又可以提高其耦合容差。但是,高质量的模斑转换器波导尖端尺寸小,难于利用普通光刻技术制作,导致与模斑转换...
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