技术编号：30496062
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。三膜mems器件技术领域.本发明总体上涉及一种三膜mems器件。背景技术.麦克风是一种将声压波转换为模拟信号的声学传感器。麦克风包括微机电系统(mems)传感器和专用集成电路(asic)。mems传感器和asic被设置在单个封装中。mems传感器和asic通过合适的电连接连接在一起。.mems传感器用作具有固定板和可移动板的可变电容器。可移动板也称为膜。当声压波被施加到mems传感器时，膜能够响应于声压波而移动。膜相对于固定板的移动改变膜与可变电容器的固定板之间的距离，进而改变可变电容器的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。