技术编号:3049663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光加工装置,特别涉及一种用于高速微细孔加工等的激光加工装置。背景技术 图9是一般的孔加工用激光加工装置。图中,激光加工装置101具有产生激光束102的激光振荡器103;为了将从激光振荡器103发射的激光束102由反射导引向所需的方向而设置的偏光反射镜104;分别具有作为沿光路顺序配置的可动的反射镜的电流反射镜(以其小的角度变化可大地改变光束的朝向的反射镜)105a、105b的检流计扫描器106a、106b;将由检流计扫描器106a、106b...
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