技术编号：30500335
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及运输技术领域，具体而言，涉及一种化学品输送柜。背景技术.在半导体制程设备中需要用到有机溶剂类的化学介质，如异丙醇等，根据相关规范此类化学介质属于易燃易爆类，需要做防爆处理。实用新型内容.本申请实施例的目的在于提供一种化学品输送柜，用于实现当化学品输送柜内的压力或流速异常时断开电源开关，提高化学品输送柜的安全性。.本申请实施例提供一种化学品输送柜，包括：.控制室，设置有压力检测装置、流速检测装置和电源开关，其中，所述电源开关分别和所述压力检测装置、所述流速检测装置连接；.气...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。