技术编号:3050733
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超精密工作台领域,具体为包含气浮支承和电磁驱动的超精密工作台。背景技术在半导体光刻、微型机械、精密测量、超精密加工、微型装配、生物细胞操纵和纳米技术等领域,需要十分精确的定位和非常精细的运动,因此高性能的超精密定位工作台成为了这些领域的技术支持。实现亚微米甚至纳米级的定位,常规的驱动和传动方式不再适合。比如,通常为了实现常规精密定位,往往采用伺服电机驱动和精密丝杠传动的方案,然而此种定位方式由于螺纹空程和传动摩擦的存在,其定位精度一般只能达到微米...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。