技术编号:3050917
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于溅射靶材制造领域,具体涉及。 背景技术溅射靶材在集成电路、平面显示以及太阳能薄膜电池等高技术产业中,有着极其广泛的应用。随着溅射基片的尺寸不断增大和新技术新工艺的应用,溅射靶材在纯度、微观组织以及靶材与背板连接的要求也越来越高。在溅射过程中,靶材组件作为阴极,首先应具有优良的导电性,同时为了排放高能态离子高速轰击靶材表面产生的热量,靶材组件也要具有优良的导热性。因此,靶材与背板的连接既要有一定的结合强度,以避免溅射靶在工作中的脱落、开裂等问题,又...
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