技术编号：30511624
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种mems器件及其制备方法、电子装置技术领域.本申请涉及mems领域，具体而言涉及一种mems器件及其制备方法、电子装置。背景技术.mems(micro-electro-mechanical system)工艺由于涉及到微机械结构力学特性，对每道膜层的应力都有特定的要求，对于要求多层膜层而且每层膜层需要不同应力的mems结构，为了满足每层膜层应力需求，一般是通过淀积不同应力的膜层满足要求。但由于应力膜层生长特性，生产同时满足应力，表面粗糙度以及稳定性的膜层的工艺窗口比较小，在一些苛刻要求条...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。