技术编号：30521976
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有电极和电介质的mems装置技术领域.本公开涉及一种具有电极和电介质的微机电系统(mems)装置。背景技术.目前，诸如移动电话、个人计算机、智能扬声器、助听器和真无线立体声(tws)耳机的消费电子设备以及其它主机设备通常包含一个或更多个小型麦克风、传感器和/或致动器。微纳制造技术的进步导致了具有越来越小的尺寸和不同形状因子的mems装置(诸如麦克风、传感器和致动器)的发展。增加电容式麦克风、传感器、致动器和mems装置中其它电容式元件的偏置电压会导致更高的输出和其它操作，但也会增加塌陷(c...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。