一种非平衡磁控溅射镀钽装置的制作方法技术资料下载

技术编号:30537028

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.本实用新型涉及电镀领域,特别涉及一种非平衡磁控溅射镀钽装置。背景技术.植介入医疗器械产品需要良好的生物相容性和机械强度,目前钽金属是医疗领域公认的生物相容性最好的金属材料,且力学强度较高,纯钽制备的医疗器械重量大,因此多孔结构的医疗器械产品成为骨科植介入器械重要的产品结构。美国捷迈医疗公司采用化学气相沉积的方法在多孔支架表面沉积钽金属,进行了技术垄断,但是化学气相沉积工艺复杂,成本高且会产生环境污染。针对此国内出现了d打印多孔纯钛金属、钛合金、钴铬合金的多孔医疗器械产品,但是钛合金、钴铬...
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