技术编号:3054856
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种可有效提高所刻划的直线间平行度的。背景技术其中一种娃薄膜太阳能电池的制作方式,是先在一基板上生成一透明导电薄膜层(Transparent Conducting Oxide, T⑶),并利用激光在该透明导电薄膜层上刻划出相间隔的直线,以将该透明导电薄膜层隔出多个隔离的区域;接着以溅渡或等离子体辅助化学气相沉积法(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)于该透明导电薄膜层上铺设一非晶硅薄膜...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。