技术编号：3057072
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体工艺设备中炉体的立式装配，尤其涉及一种立式炉体装配辅助装置。背景技术在炉体的立式装配过程中，由于炉体的焊接需要有一定的空间，炉体会有一部分处于悬空状态，需要对悬空部分进行支撑，才能获得比较稳固的状态。同时，炉体外壁的安装难度比较大，尤其是外壁的定位，是一个反复调试的复杂过程，费时费力，装配效果也不够理想。发明内容(一)要解决的技术问题本发明要解决的技术问题是提供一种立式炉体装配辅助装置，其能够在对立式炉体进行装配时，对炉体进行支撑、对炉体外...
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