技术编号:30580817
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及过氧化氢制备技术领域,具体为一种以超纯水和氧气为原料生产高纯度过氧化氢的电解方法。背景技术.过氧化氢水溶液俗称双氧水,是一种重要的化工原料,具有清洁无污染特性,广泛应用于印染、造纸、环保、食品、化学合成以及半导体等行业。过氧化氢通常分为工业级、食品级、试剂级和电子级,其中超净高纯电子级过氧化氢是半导体技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性材料之一,主要用在芯片制造中研磨、氧化、刻蚀以及清洗等工序环节,其纯度严重影响集成电路的电性能、可靠性及成品率。.过氧化氢的工业生产方法有过氧...
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