技术编号:30582460
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及压电薄膜传感器技术领域,具体涉及一种压电薄膜传感器结构及制备方法。背景技术.压电薄膜一般是一种柔性的高分子有机材料,相对于无机压电材料,更薄、更轻更柔软,而性能方面,与无机压电材料各有优势,因此在一些对空间、结构要求较高的场合,压电薄膜越来越受到青睐。.然而,压电薄膜有一个较大的缺点,其居里温度较低,往往低于度,因此围绕压电薄膜的一系列制造工艺都得控制在一个较低的温度,使得压电薄膜传感器的制造工艺相对于常规的传感器制造工艺较为特殊,尤其是电极引出,是压电薄膜传感器一个关键...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。