技术编号：30583617
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及一种信息处理装置、信息处理系统以及部件订购方法。背景技术.在半导体产品的制造或研究开发的现场，使用工艺模拟。在工艺模拟中，能够通过物理模型(模拟模型)来处理与半导体工艺(以下称作“工艺”)有关的各种物理现象(例如参照专利文献)。.另外，例如在运转中的半导体制造装置中，通过实施维护来进行由于寿命、故障而需要更换的配件的更换。.现有技术文献.专利文献.专利文献：日本特开-号公报发明内容.发明要解决的问题.本公开提供一种使用半导体制造装置的模拟模型来...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。