技术编号:3058376
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层的装置及其方法,属于激光微加工。背景技术传统的触摸屏上双面导电膜层上线路制作方法主要有化学湿法刻蚀和黄光刻蚀等两种工艺方法。其中化学湿法刻蚀导电膜层的工艺方法中,工序设计到完成刻蚀时间长, 需投入治具和耗材成本较高,同时产线上投入较多人力,废水费酸等废液对环境污染较为严重,整个工艺流程能源浪费较严重。而黄光刻蚀工艺需要前期投入较大,成本高昂,对于材料的选择性较为狭隘,不适合市场上所有导电膜层的制作方法,再加...
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