技术编号：30583884
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及有源矩阵基板及其制造方法。背景技术.液晶显示装置、有机电致发光(el)显示装置等所使用的有源矩阵基板具有：显示区域，其具有多个像素；以及显示区域以外的区域(非显示区域或边框区域)。在显示区域中，按每个像素具备薄膜晶体管(thin film transistor；以下，称为“tft”)等开关元件。作为这种开关元件，以往以来，已广泛使用以非晶硅膜为活性层的tft(以下，称为“非晶硅tft”)、以多晶硅膜为活性层的tft(以下，称为“多晶硅tft”)。.作为tft的活性层的材料，已提...
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