技术编号：30583983
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及真空测量技术领域，具体涉及一种快速真空分压力测量方法，是一种基于电光调制型窄带双光梳光谱技术的真空分压力测量装置及方法。背景技术.真空分压力测量技术能够分析真空中气体成分并测量其组分压力，是众多研究和生产领域不可或缺的技术，为真空系统提供大量有效信息。近年来，随着我国高新尖端技术的迅猛发展，分压力测量技术在航空航天、高能核物理、半导体工业和纳米材料技术等领域具有迫切的需要。.质谱法是使用最广泛最悠久的真空分压力测量方法，但是经过校准后的四极质谱计的精度较低，测量不确定约为％...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。