技术编号：30583994
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及传感器芯片、力觉传感器装置。背景技术.一直以来，已知有一种检测预定的轴向的位移的力觉传感器装置。作为一例，可以举出如下的力觉传感器装置：具备由传感器芯片、配置于传感器芯片的周围且施加外力的外力施加板、支撑传感器芯片的台座部、将外力施加板固定于台座部的外力缓冲机构、以及作为外力传递机构的连结杆构成的构造体，外力施加板与作用部用连结杆连结。.传感器芯片由位于中央部的大致呈正方形的形状的作用部、位于包围该作用部的位置的正方形环形状的支撑部、以及位于作用部与支撑部之间且与四边的各部分对...
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