技术编号：30584012
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及测量技术领域，具体而言，涉及一种静态漏率测量装置及方法。背景技术.在文献“基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法”，《真空科学与技术学报》，年第期，第页～页”中，介绍了本文介绍了一种基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法，该方法在基于流经传感元件的气流处于分子流状态下，通过测量传感元件两端的差压，计算质量流量，得到真空腔体的整体漏率。该文献中使用的测量装置复杂，测量装置需要由气体流量测量系统、真空抽气系统、恒温系统等部分组成，需要满足流经传感元件的气流处...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。