技术编号:3058587
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光材料加工,而更具体地说,涉及一种用于防止激光单元(器件)受在激光加工一个加工区中目标物或基底期间所产生的粉尘或碎屑影响的方法和装置。本发明在有关用于激光蚀刻或加标记的设备方面特别有用。因此,本发明的技术背景、其目的和实施例,将结合这种激光蚀刻设备进行说明。然而,本发明也可应用于任何类型的激光材料加工,如激光表面处理、激光切割和激光焊接等设备上。背景技术 一般,例如象在DE-A1-43 38 774或DE-A1-44 05 203中所公开的,激...
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