技术编号:3059766
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种使用短脉冲激光的基板加工装置,尤其是涉及ー种适用于加工作为硬脆性材料基板的蓝宝石基板等的。于此,所谓短脉冲激光是指脉宽在10_13 KTki秒(0. I 100微微秒)以下的激光。背景技术作为对玻璃基板、Si基板、蓝宝石基板等脆性材料基板形成像切割槽(切槽)ー样的分割起点的加工方法,已知有使用脉冲激光的若干加工方法。这些加工方法的共通之处在于通过由脉冲激光照射后的能量而将基板加热,但形成分割起点的机制彼此差异较大,分别具有不同特征。例如,在分...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。