技术编号:30651903
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种真空处理装置的技术,在真空中对被保持于基板保持器的基板的两个表面进行通过成膜等的真空处理。背景技术.以往以来,公知有将多个被成膜基板分别载置于托盘等的基板保持器而进行通过成膜等的真空处理的真空处理装置。.作为这样的真空处理装置,将作为处理对象的基板导入(装载)到真空槽内而使其保持于基板保持器,将处理结束后的基板从基板保持器取下而向真空槽之外排出(卸载)。.在现有技术的构成中,基板从装载位置到卸载位置,其处理面被保持为水平,一边在水平面内构成的环状的运送通路上移动一边进行各...
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