技术编号:3067281
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明,涉及检测支撑检流反射镜的旋转轴的旋转角度、来控制旋转轴以便将检流反射镜定位在所希望的位置的扫描装置。背景技术 扫描装置,是通过用马达旋转支撑检流反射镜(以下,称为「反射镜」)的旋转轴、将反射镜的反射面定位在所希望的角度、例如来将从激光振荡器所输出的激光照射到被加工物的规定位置的装置,它被利用在印刷电路板制造中的激光打孔加工机(以下,称为「激光加工机」)中。在激光加工机的场合,反射镜的定位的速度(响应性)和对于指令值的偏差,严重地影响加工生产率和加工...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。