技术编号:3067911
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将非晶态半导体薄膜改性成多晶态半导体薄膜用的半导体薄膜的改性方法、改性后的半导体薄膜的评价方法、用该半导体薄膜形成的薄膜晶体管、以及包括具有用该薄膜晶体管构成的电路的平板型图像显示装置的半导体装置。背景技术 例如液晶显示装置等的平板型图像显示装置具有在适合采用玻璃的绝缘基板(以下也简称基板)上形成的半导体薄膜上制成的像素电路和驱动电路。作为构成像素电路和驱动电路的驱动元件,多半采用薄膜晶体管(TFT)。作为该薄膜晶体管的活性层,近年来代替非晶态半...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。