技术编号:30701283
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种ldi感光干膜及其制备方法技术领域.本发明涉及感光干膜技术领域,具体涉及一种ldi感光干膜及其制备方法。背景技术.ldi,指的是激光直接成像技术,原理是激光直接投射在涂有干膜抗蚀剂的线路板上,从而实现图形转移,相较于传统的光掩膜曝光法,位置配合精度更好,因此,现在的精密线路普遍使用该方法曝光。而制作精密线路,要求干膜抗蚀剂能兼具高解析、高附着力以及耐蚀刻性的这些优点。.为了使ldi技术达到最大好处和获得成像工艺的经济性,要求有ldi技术为特点的光致抗蚀剂与之匹配。主要要求是:(一)是这...
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